[GB50646-2011]特种气体系统工程技术规范

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  • 简介:本规范适用于新建、改建和扩建的电子工厂的特种气体系统工程的设计、施工和验收;不适用于特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计、施工和验收。

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